Aluminium Gallium Nitride/Gallium Nitride (AlGaN/GaN) Reactive Ion Etching (RIE)

AlGaN/GaN may be etched using the Reactive Ion Etching (RIE) process.

SEM image shows GaN mesa with hard mask still in place        

  PlasmaPro System100 RIE PlasmaPro System133 RIE
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#顕微鏡学会 弊社のランチョンセミナー大盛況でした。 参加して下さった皆様ありがとうございました。 そして、弊社はより良い製品を皆様に届ける事が出来るよう日々研鑽してまいります。 pic.twitter.com/VKk1wf1Llz
5:39 午前 - 29 5 18
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