Aluminium Gallium Nitride/Gallium Nitride (AlGaN/GaN) Reactive Ion Etching (RIE)

AlGaN/GaN may be etched using the Reactive Ion Etching (RIE) process.

SEM image shows GaN mesa with hard mask still in place        

  PlasmaPro System100 RIE PlasmaPro System133 RIE
Etch Rate: お問い合わせください お問い合わせください
Single wafer size: お問い合わせください お問い合わせください
Batch size: お問い合わせください お問い合わせください
Selectivity to PR: お問い合わせください お問い合わせください
Uniformity: お問い合わせください お問い合わせください