Platinum (Pt) Atomic Layer Deposition (ALD)

Pt may be deposited using Atomic Layer Deposition  (ALD).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Process Specification

Precursors: お問い合わせください
Non-metal precursors: お問い合わせください
Temperature range: お問い合わせください
Growth rate per cycle: お問い合わせください
Deposition rate: お問い合わせください
Uniformity: お問い合わせください

 

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