Strontium Titanate (SrTiO3) Atomic Layer Deposition (ALD)

SrTiO3 may be deposited using Atomic Layer Deposition  (ALD).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Process Specification

Precursors: お問い合わせください
Non-metal precursors: お問い合わせください
Temperature range: お問い合わせください
Growth rate per cycle: お問い合わせください