Niobium Nitride (NbN) Atomic Layer Deposition (ALD)

NbN may be deposited using Atomic Layer Deposition  (ALD).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Process Specification

Precursors: お問い合わせ下さい
Non-metal precursors: お問い合わせ下さい
Temperature range: お問い合わせ下さい
Growth rate per cycle: お問い合わせ下さい
Deposition rate: お問い合わせ下さい