Hafnium Nitride (HfN) ALD

HfN may be deposited using Atomic Layer Deposition (ALD).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Process Specification

Precursors: お問い合わせ下さい
Non-metal precursors: お問い合わせ下さい
Temperature range: お問い合わせ下さい
Growth rate per cycle: お問い合わせ下さい
Deposition rate: お問い合わせ下さい
Uniformity: お問い合わせ下さい

 

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