リアクティブイオンエッチング(RIE)システムの特長

機能                   PlasmaPro NGP80 RIE PlasmaPro 800Plus RIE PlasmaPro 100 RIE PlasmaPro System133 RIE
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ローディング お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
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ヘリウム裏面冷却オプション お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
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