RIE-PEシステムの特長

機能 PlasmaPro NGP80 PlasmaPro System800Plus
電極サイズ お問い合わせください お問い合わせください
ローディング お問い合わせください お問い合わせください
基板 お問い合わせください お問い合わせください
MFC制御gaslines お問い合わせください お問い合わせください
ウエハステージ温度範囲 お問い合わせください お問い合わせください
ヘリウム裏面冷却オプション お問い合わせください お問い合わせください
ICPのオプション お問い合わせください お問い合わせください
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