プラズマエッチング/リアクティブイオンエッチング(RIE / PE)

RIE / PEのメリット

  • 基板電極冷却
  • 上部または下部電極RF駆動(13.56 MHz)
  • 自動切り替え
  • シャワーヘッドガス入口(上部電極)
  • パラメータ:ガス流量、圧力、RFパワー

RIE-PEシステムの特長

RIE-PEシステムの特長

機能 PlasmaPro NGP80 PlasmaPro System800Plus
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基板 お問い合わせください お問い合わせください
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