Nanofabシステム機能

 機能 Nanofab700 Nanofab800Agile
テーブルサイズ お問い合わせください お問い合わせください
ロードロック お問い合わせください お問い合わせください
液体前駆体の互換性 お問い合わせください お問い合わせください
電源周波数レンジ お問い合わせください お問い合わせください
一般のPECVDプロセス お問い合わせください お問い合わせください
触媒前処理 お問い合わせください お問い合わせください
ナノ材料プロセス お問い合わせください お問い合わせください
表温度範囲 お問い合わせください お問い合わせください
温度敏捷 お問い合わせください お問い合わせください
O2の雰囲気との互換性(<400C) お問い合わせください お問い合わせください
O2の雰囲気との互換性(> 400C) お問い合わせください お問い合わせください
インストール用の電源装置 お問い合わせください お問い合わせください
インストール用のガスライン お問い合わせください お問い合わせください