物理蒸着法(PVD)スパッタリングの代表的アプリケーション::

  • インターコネクト用高品質Al/Al合金
  • バリアメタル膜TiN(反応性スパッタリング)
  • 抵抗膜NiCr、TaN
  • 貴金属:Au, Pt
  • 透明導電膜
オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
10:46 午後 - 26 3 18
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