物理蒸着法(PVD)スパッタリングの代表的アプリケーション::

  • インターコネクト用高品質Al/Al合金
  • バリアメタル膜TiN(反応性スパッタリング)
  • 抵抗膜NiCr、TaN
  • 貴金属:Au, Pt
  • 透明導電膜