イオンビームエッチングシステム

ハードウェアの特長
 

  • 2ソースのサイズの選択、15cmおよび35cmのRFウエハーサイズに依存
  • さまざまなグリッドデザインが利用可能
  • 高電流中和剤
  • 最大200mmの回転と傾斜が可能な加熱冷却機能を装備した基板プラテン
  • 単一ウエハーロードロックとカセットマルチウェーハハンドラの選択
  • 多機能クラスタツールに簡単に設定できるモジュラー設計
  • クリーンルーム用のさまざまなインターフェイス設定
  • エンドポイント検出のためのSIMSまたはVerityオプション

イオンビームエッチングツール構成

  Ionfab 300Plus (SC) Ionfab 300Plus (LC)
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