機能 PlasmaPro NGP80 ICP CVD65 PlasmaPro System100 ICP CVD180 PlasmaPro System133 ICP CVD380
 電極サイズ お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 ウエハーサイズ お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 ローディング お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 基板 お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
  ドーパント お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 液体前駆体 お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 MFC制御ガスライン お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 ウエハーステージ温度範囲 お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
 プラズマ洗浄 お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください