PlasmaPro ICPエッチング製品群の特長

機能 ICP65 (NGP80or 
PlasmaPro 100)
PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380 PlasmaPro100 Cobra PlasmaPro
Estrelas100
PlasmaPro133 ICP380
ソースサイズ: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください - - お問い合わせください
電極サイズ: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
ローディング:  お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
ロードロックウエハーサイズ: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
MFCはgaslinesを制御: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
ウエハーステージ温度範囲:  お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください