サーマルALDの利点に加えて、リモートプラズマは、高い膜質とプリカーサの幅広い選択を可能にする:

  • プラズマは低温ALDプロセスを可能にし、リモート・ソースは低プラズマダメージを維持
  • 特に低温による - ALDサイクルの間のパージ時間を短縮すること、プリカーサとしての水の必要性を排除
  • 不純物除去され、より低抵抗率でより高密度に改善された高品質膜
  • 水素プラズマを使用することにより効果的な金属膜成膜
  • 化学量論/位相を制御する能力
  • ニュークレーションディレイの減少
  • プラズマ表面処理
  • チャンバーのプラズマ洗浄は、いくつかの材料でできます。