TMA及びO2プラズマを使用して、Al2O3のALDプロセスサイクル。.

ステップCだけがサーマルプロセス用のH2O あるいはO2 プラズマの間で変わります:
A. TMA chemisorbtion       B. TMA purge                  C. O2 plasma                   D. Short post plasma purge