ALDは多くの用途に使用することができます:

  • High-kゲート酸化
  • ストレージキャパシタ誘電体
  • OLED及びポリマーのためのピンホールのないパッシベーション層
  • 結晶シリコン太陽電池のパッシベーション
  • Cuの高アスペクト比拡散バリア膜
  • 接着層
  • 有機半導体
  • マイクロ流体及びMEMSアプリケーション向けの高被覆性コーティング
  • 他のナノテクノロジーとナノエレクトロニクス・アプリケーション
  • ナノポーラス構造のコーティング
  • 燃料電池、触媒層のための、例えば単一の金属コーティング
  • バイオMEMS