機能 OpAL® FlexAL®
基板 お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
液体プリカーサ(バブリング)&固体プリカーサ 使用可能 使用可能
プリカーサの最大設定温度 お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
迅速なデリバリーシステムを持つMFC制御されたガスライン、
1)サーマルガスのプリカーサ
2)プラズマガス
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プラズマソース対応 対応可能 対応可能
ローディング オープンロード ロードロック
他のプロセスモジュールへのクラスタ対応 お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
ウエハステージ温度範囲 お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
エリプソ用ポート 有り 有り
パルスALDバルブ 有り 有り