INCA WAVE WDSスペクトロメーターはSEMで使用できる唯一のWDSスペクトロメーターで、EPMAと同じフォーカス機構を使っています。これは2倍の分解能とさらなる安定性、再現性のある測定を実現します。

 

 

WAVEは精度と品質に定評のあるフォーカシングスペクトロメーターです。スペクトロメーター内部の部品(結晶、検出器、ゴニオメーター)は、正確な回折状態を保持するために完璧に協調し、非常に高い正確さで機能します。これにより測定も再現性のあるものになります。

WDS Detector WAVE Features

  • スペクトロメーターは水平または傾いたローランド円に沿ってマウントされており、試料の垂直方向の位置ずれに対しての感度が低くなっています。これにより、結果の再現性が良くなり、全てのユーザーに対してデータ収集が簡単になります。It also eliminates the need for an optical microscope for 'setting up', which is required by parallel beam spectrometers.
  • スペクトルの分解能は2eVと低く、近接したX線ラインの分離が容易
  • 100ppm以下の優れた検出限界
  • 標準で10.8keVまでのエネルギーレンジ(オプションで15keV)
  • XPPマトリクス補正アルゴリズムを使った正確な定量分析
  • 25年以上にわたって開発された信頼性のある機械設計
  • 標準、可変真空、環境フィールドエミッションなど様々なSEMへの搭載実績
  • 軽元素を含むサンプルや、低ビーム電流(<5nA)での高空間分解能分析など、様々な用途で信頼性のある結果

 

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