WDS - 波長分散型X線分析装置は、優れたピーク分離と正確な微量元素分析でEDSを補完し、低エネルギーまたは高エネルギーX線に最適化した元素分析は、「SEMでの正確なマイクロプローブ分析」を提供いたします。

 

Overview

  • 500pppm以下での正確な定量分析
  • 10eV以下の分解能で、硫黄ーモリブデンのような重要なピーク重複を解消
  • 試料の中にどこにピーク重複があっても、全ての元素分布を簡単かつ一義的に決定
  • 元素分析トレースでEDSシステムの100倍までの感度
  • SEMにおいて最も正確な元素分析
    • 微量元素はEPMAに匹敵する正確性のWDで、主要元素はXPP定量補正を使用するEDで分析

このグループのプロダクト

278_INCAWave

WDS with EDS software - INCA Energy+

WDSシステムは優れたX線分解能を提供し、EPMAの分析品質に匹敵する分析をSEM上で実現します。INCAEnergy+ソフトウェアはWDSとEDSを組み合わせとなります。

278_WAVE

WDS Detector - Wave

WDSシステムは優れたX線分解能を提供し、EPMAの分析品質に匹敵する分析をSEM上で実現します。INCAWaveはWDS検出器ハードウェアです。