Point&ID は、最新のSDD検出器によって生成される高カウントレートを活かすためにデザインされ、リアルタイムで高精度のサンプルデータを提供します。 

  •  分析領域の指定が簡単で、スペクトルの収集まで数秒
  • 実績のある自動ピークIDルーチンによって、元素が定性
  • 信頼性の高い新しいTru-Q技術による定量値が、MiniQuantディスプレイに表示
  • 改良されたCliff-Lorimerアルゴリズムを内包した、TEMに特化した新しいTru-Q技術
  • 結果をソフトウェアから直接メール送信

 

  • Tru-Q分析エンジンは、リアルタイム自動定性・定量に要求される高信頼性を提供します。
    • スタンダードレス分析を可能にする、検出器とハードウェアの完璧な特性評価
    • 200,000cpsでの高信頼定量分析を可能にする、高カウントでの自動パルスパイルアップ補正
    • 厚膜試料にも対応する、高信頼TEM定量分析のための改良されたCliff-Lorimer補正
  • AutoLayerは、一連のX線マップを含んだ情報を一つのマップに統合する新しい方法で、キーポイントを強調する機能です。
    • 試料を即座に、自動で解釈
    • 一つの画像で何が重要なのかを強調表示
    • 複雑な試料を解明
    • レイヤーイメージの色をX線マップと関連した色で表示
  • TruMapは、最新のSDD検出器で収集したX線カウントを有効に活用する、特長あるリアルタイムマッピング機能です。真の元素分布を表示させ、データをさらに信頼性のあるものにします。
    • アーチファクトの除去
    • 元素オーバーラップの補正
    • バックグラウンドX線による間違った分布を除去
    • すべての処理をリアルタイムで

TruMapは半導体試料での真の元素分布を明らかにしています

  • TruLineはTruMap技術を使い、2点間の真の元素分布を表示します。
    • ピークオーバーラップを自動で補正
    • バックグラウンドX線を除去し、元素分布の違いを強調
    • 視覚的に比較を行うために、イメージとラインスキャンを並べて表示
    • スケールをノーマライズし、元素同士の比較をシンプルに

半導体試料の標準的なラインスキャンで、Ta、W、SiとCuの存在を示しています。TruLineを使用することで、真の元素プロファイルを明らかにします。

  • AutoLockは、試料ドリフトがある場合でも有益なデータを収集できる強力な機能で、ソフトウェアに内蔵されています。
    • ナノスケールのような極限の状態でも動作
    • 試料ドリフトの情報を保持
    • 補正動作をライブでアップデート
    • 予測型と反応型の2種類の補正ルーチンを組み合わせた試料ドリフト補正

  • ガイドモードとカスタムモードで、初心者からエキスパートまで対応
  • 全てのナビゲータステップでステップノートが使用可能で、短時間でAZtecの使い方をサポート
    • 必要な情報がどこにあるかを正確に把握することができます。
    • 次に何をすべきかを、テキストとイメージで簡単に知ることができます。
    • ステップノートを簡単にStandard Operating Procedures (SOPs)に切り替えます。
    • テキストとイメージでオンスクリーンでSOPを記述します。
    • SOPを使うことで、初心者でも最初から高い生産性を得られ、毎回同じ手順で信頼性のある結果が得られます。