大きな検出素子の利点:

  • 低ビーム電流でも大きなカウントレート
  • イメージング性能と信頼性を最大化
  • 観察と同じ条件でX線分析可能
  • 同じビーム電流において、より高いカウントレート
  • 短い収集時間
  • 統計的な信頼性の向上
  • 微小ビーム径分析の実用化
  • 空間分解能を最大化
  • 高分解能SEMを使用した分析に最適

 

Size matters, sensitivity counts

同じ分析条件で大口径検出素子を使う利点:

  • 数分かかっていた分析を数秒で – マッピングを日々の分析ツールに
  • 同じ収集時間で精度を大きく向上

大面積検出器 – 全てのルーチン業務を高速に

Low energy matters, sensitivity counts

X-MaxN は低エネルギーX線分析のために最適化されています – no compromise on size. Nothing else comes close.

  • Be検出が全ての検出器で可能。Si Ll線のマッピング分析も可能

大面積検出器 – 低エネルギー分析を実用化


Size matters, spatial resolution counts

高い空間分解能観察条件では、低いX線発生となります。

  • 大面積検出器は、低エネルギー領域のスペクトルを高品質で、実用的な時間で収集
  • ナノスケール粒子分析を高い信頼性で

大面積検出器 – 全ての分野でのナノスケール分析を可能に