なぜ150mm2検出器は小さな検出器より良いのか?

例えば... 20kVの条件では、150mm2検出器は1秒間200,000のカウントを得るための電流量は2nA以下です。対照的に10mm2検出器は約20nAが必要です。

下のグラフは、テイクオフアングル30°かつ試料と検出結晶間45mmの検出器を使用して、純Mnを20kVで分析した際の、異なるビーム電流下での典型的なカウントレートを示しています。 大面積センサーを使用することで、どのビーム電流域でもカウントレートは増加します。 すなわちこれは、空間分解能を最大化かつビームダメージを最小化する条件においても分析に有効なカウントレートを得られることを意味しています。 左の画像は、ビーム電流の増加が画像の品質に与える影響を示しています。

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The effect of beam current on nanoscale analytical capability

小面積の検出器を使用する場合、実用的なカウントレートを得るために大きなビーム電流が要求され、空間分解能の低下を引き起こします。 大面積検出器を搭載したX-MaxN 150は、高い空間分解能でも大きなカウントレートを収集でき、ナノスケールの微小構造解析を実現します。

 

 

 

 

右図: 5kVでX線マッピング分析した、ダメージを受けやすいナノ構造試料。 同じカウントレートを得るために、150mm2検出器ではビーム電流をより少なくできるため、ナノスケールの元素分布を明確にするために十分な空間分解能を得られ、試料ダメージを最小にできます。 対照的に10mm2では大きなビーム電流が必要となり、ナノスケールの分解能は失われ、マップ収集間で著しいダメージを引き起こします。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Right: 150mm2 X-MaxN 検出器を使用して、0.2nA, 3kV条件で収集したメモリー合金のナノ構造解析X線マップ。 Fe Lα, Ni Lα, Cu Lαの各マップが、20nmスケールの化学的分布を明確に表しています。