2012年8月に発売されたX-MaxNは、新しい検出素子、新しい電気系を搭載し、「新世代」SDDの性能を最大限引き出す革新的な製品です。

X-MaxN はミクロレベル分析向けの20mm2から、ナノスケール分析に対応する150mm2までのラインナップを揃えています。150mm2 SDDは業界最大サイズを誇り、他の検出器の2倍以上のスピードを提供いたします。

概要

  • 最大150mm2から20mm2までの検出素子サイズ
  • X-MaxN は検出素子サイズによらず、最高の分解能を提供いたします。性能はISO15632:2012規格で保証されます。
  • 顕微鏡内の機械的ジオメトリは全て同じであり、検出素子サイズの大きさとともにカウントレートも増加します。
  • 全ての検出素子サイズで、Beを含む低エネルギー分析を保証します。
  • 前世代X-Maxと同じインターフェースを使用してSEMやFIBに取付可能です。

X-MaxNの機能

Performance independent of size

X-MaxN は、業界最大150mm2の検出器をはじめ、80mm2, 50mm2, 20mm2のサイズを揃えています。

  • X-MaxN は外部FETデザインを採用しているため、分解能と低エネルギー検出性はセンサーサイズとは無関係
  • センサーの位置が同じであるため、センサーサイズに比例してカウントレートが増加
  • どのセンサーサイズでも優れた分解能性能を発揮
  • 全てのセンサーサイズで、Beを含む優れた低エネルギー検出性能

NEW AZtecEnergyX-MaxNを使用した、マルチ検出器データは高い感度を持ってシームレスに結合されます。

  • カウントレートが増加しても空間分解能やスペクトル分解能のロスはありません。
  • 1つの電子顕微鏡に複数搭載可能
  • 最大600mm2の検出面積!

マルチ検出器の利点

  • どんな試料もわずか数pAでX線マップ収集
  • ナノサイズの粒子やパーティクルからの情報を最大化
  • 秒間数十万カウントでもパイルアップ補正して定量解析
  • 微小濃度元素を最速で検出

X-MaxNの特長

大きな検出素子の利点:

  • 低ビーム電流でも大きなカウントレート
  • イメージング性能と信頼性を最大化
  • 観察と同じ条件でX線分析可能
  • 同じビーム電流において、より高いカウントレート
  • 短い収集時間
  • 統計的な信頼性の向上
  • 微小ビーム径分析の実用化
  • 空間分解能を最大化
  • 高分解能SEMを使用した分析に最適

 

Size matters, sensitivity counts

同じ分析条件で大口径検出素子を使う利点:

  • 数分かかっていた分析を数秒で – マッピングを日々の分析ツールに
  • 同じ収集時間で精度を大きく向上

大面積検出器 – 全てのルーチン業務を高速に

Low energy matters, sensitivity counts

X-MaxN は低エネルギーX線分析のために最適化されています – no compromise on size. Nothing else comes close.

  • Be検出が全ての検出器で可能。Si Ll線のマッピング分析も可能

大面積検出器 – 低エネルギー分析を実用化


Size matters, spatial resolution counts

高い空間分解能観察条件では、低いX線発生となります。

  • 大面積検出器は、低エネルギー領域のスペクトルを高品質で、実用的な時間で収集
  • ナノスケール粒子分析を高い信頼性で

大面積検出器 – 全ての分野でのナノスケール分析を可能に

 

Why size matters

なぜ150mm2検出器は小さな検出器より良いのか?

例えば... 20kVの条件では、150mm2検出器は1秒間200,000のカウントを得るための電流量は2nA以下です。対照的に10mm2検出器は約20nAが必要です。

下のグラフは、テイクオフアングル30°かつ試料と検出結晶間45mmの検出器を使用して、純Mnを20kVで分析した際の、異なるビーム電流下での典型的なカウントレートを示しています。 大面積センサーを使用することで、どのビーム電流域でもカウントレートは増加します。 すなわちこれは、空間分解能を最大化かつビームダメージを最小化する条件においても分析に有効なカウントレートを得られることを意味しています。 左の画像は、ビーム電流の増加が画像の品質に与える影響を示しています。

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The effect of beam current on nanoscale analytical capability

小面積の検出器を使用する場合、実用的なカウントレートを得るために大きなビーム電流が要求され、空間分解能の低下を引き起こします。 大面積検出器を搭載したX-MaxN 150は、高い空間分解能でも大きなカウントレートを収集でき、ナノスケールの微小構造解析を実現します。

 

 

 

 

右図: 5kVでX線マッピング分析した、ダメージを受けやすいナノ構造試料。 同じカウントレートを得るために、150mm2検出器ではビーム電流をより少なくできるため、ナノスケールの元素分布を明確にするために十分な空間分解能を得られ、試料ダメージを最小にできます。 対照的に10mm2では大きなビーム電流が必要となり、ナノスケールの分解能は失われ、マップ収集間で著しいダメージを引き起こします。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Right: 150mm2 X-MaxN 検出器を使用して、0.2nA, 3kV条件で収集したメモリー合金のナノ構造解析X線マップ。 Fe Lα, Ni Lα, Cu Lαの各マップが、20nmスケールの化学的分布を明確に表しています。

 

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