X-Max Extremeは超高分解能FEG-SEMのための革新的な製品です。この特長的な検出器は低加速電圧(例えば1-3kV)やショートワーキングディスタンスでのEDSデータ収集を可能にし、お客様が高いSEM分解能でナノマテリアルや表面を解析している条件での元素分析を実現します。

最新の超高分解能SEMは微細なナノ構造を評価する新たな可能性を提供しています。しかしインレンズ検出器からの電子信号コントラストを使用するためのショートワーキングディスタンスや低加速電圧、最小ビーム電流などの条件では、現在のEDSでは元素分析が困難になっています。この新しいX-Max Extremeはこの状況を一変し、これらの条件で分析するために以下の特長を持って設計されています。

  • 特長的なジオメトリ
    • より短いワーキングディスタンスでの動作するための設計
    • 従来のポートにマウントされたEDS検出器よりも大きな立体角ーX-MaxN 150よりも約5倍の立体角で、約半分の試料間距離のセンサー
  • ウインドウレス
    • 高い立体角との組み合わせで、他の大面積検出器と比較して低エネルギーX線の10-30倍の感度
  • 極低エネルギーX線の感度を強化するための新しい検出器電気系と高カウントレート時の低エネルギー分析性能の拡張
  • 低加速電圧データ処理と解析のための新しいTru-Q解析エンジンを内蔵したAZtecEnergyとのインテグレーション
    • 低エネルギーオーバーラップ補正のために改良したTruMap

この特長的なジオメトリを実現するために、X-Max Extremeは非円形の100mm2センサーを一体して設計され、TEMにおいて感度を最大化するためにウインドウレス型検出器はX-MaxN 100TLEですでに使用されています。加えて検出器を最大7kVの加速電圧まで動作させるために、占有面積を減少させた新しいエレクトロントラップを採用しています。