X-Max Extremeは、表面汚染物質の組成や分布、数原子層レイヤーの評価にご使用いただけます。

  • SEM評価と統合した表面解析
  • 極低加速電圧・短ワーキングディスタンスにおいて電子顕微鏡で可視化される表面構造の解析
  • オージェやXPS分析にかかる分析コストと時間の節約

分析例: 二次電子像で検出された、ハイエンド電子部品の汚点を1kVで収集したX線マップ