2kV以下の材料評価

  • 極低加速電圧電子顕微鏡に内蔵されたEDSは試料評価に最適です。
    • シグナルコントラストの増大
    • 試料ダメージの低減(例:ポリマー、ソフトコーティング)
    • チャージアップの減少やチャージバランス条件の調整

Example分析例
加速電圧を10kVから1.5kVに減少させることにより、酸化物粒子の分布を表すために電子線像コントラストが使用できます。同一分析条件のX線マップでMnOB析出物を評価。マップ収集時間は15分。試料提供:JFE Steel