LayerProbeはSEMで薄膜を解析する新しいソフトウェアです。EDS分析ソフトウェアAZtecEnergyのオプションで、LayerProbeはこれまでの薄膜測定装置よりも速く、コストをかけず、高い分解能で分析が可能です。

LayerProbeは、表面近傍層の組成と膜厚を個別に計算することで、EDS分析によって得られた元素と相の情報を補完するものです。

試料解析に高く焦点を絞った電子線を使うことで、深さとともに空間的にも分解し、ナノスケールの薄膜構造解析が可能です。

Overview
 

  • SEMでの薄膜解析
  • 試料の表面付近の多層膜評価
  • 非破壊分析
  • 2~2000nmの多層膜の膜厚と組成分析
  • 200nmまでの空間分解能
  • 設定が簡単で、現在ご使用のSEMまたはFIB-SEMでコストを抑えて機能を拡張
  • AZtecEnergyの拡張機能で、ソフトウェアに内蔵され、現在ご使用のシステムに簡単に組み込み可能

LayerProbe Features

非破壊検査

  • 多層膜の組成と膜厚は、試料表面のEDS測定から計算されます。-断面試料の準備は不要です。

高い空間分解能

  • LayerProbeは高分解能かつ非破壊検査のただ一つのツールです。-200nm幅の粒子まで高信頼性評価が可能です。

高信頼性

  • ナノメーターオーダーの膜厚が素早く高い信頼性で測定可能です。

Cost effective

  • LayerProbeは、ご使用中のSEMを高性能の薄膜、コーティング解析装置へと変えます。同等の非破壊検査技術は、専用装置の追加投資が必要です。

金属層に最適

  • X線ベースの技術で、光学的に透過性のある膜厚以上の膜厚でも金属層の膜厚を測定できます。
  • 最高の低エネルギー感度を持つ最新のSDD検出器X-MaxNは膜厚1nmまでの金属上酸化物層を測定可能にします。

LayerProbe Applications

LayerProbeは、チップ製造の前工程と後工程、半導体研究開発、光学工業製品コーティング、ナノデバイスなど、様々なアプリケーションに最適です。

 

半導体の研究開発

  • メタルまたは絶縁膜層の膜厚・組成測定
  • ボンディングパッド上の酸化膜形成の信頼性評価 (例えば Cu上のCu酸化膜)
  • 薄膜成長プロセスの最適化 (CVD, ALD, スパッタ, 蒸着)

太陽電池セル

  • 薄膜太陽電池セルのアクティブ層の特性評価 (CIGS, CdTe)
  • TCO層の膜厚と平坦性の評価
  • 反射防止膜の膜厚・組成評価

光学コーティング

  • 膜厚と組成を正確に決定することで、色と透過率を最適化
  • 組成測定はこれまでの膜厚測定では見られなかった不均一性を明らかにする

工業コーティング

  • 装飾的または構造的コーティング膜評価に最適
  • 最小限の試料前処理で表層粒子を正確に調査し性質を明らかにする

ナノサイエンス

  • ナノ粒子コーティング膜の平坦性測定
  • ナノデバイスのコンタクトを評価
  • 非破壊の薄膜評価でデバイス性能と構造を関連付け