粒子解析用 シリコンドリフト検出器(SDD)

オックスフォード・インストゥルメンツ社のX-MaxNシリコンドリフト検出器は用途と予算に合わせ、通常分析用20mm2からナノ分析に対応した150mm2までの広いラインナップがあります。業界最大級のサイズとなる150mm2は他社製品の2倍以上の感度を誇ります。

  • 様々なシリコンドリフト検出器サイズ
  • 150mm2から20mm2まで
  • SEM内のジオメトリサイズは全て共通 - カウントレートはセンサーサイズに比例

全X-MaxN検出器共通の特徴:

  • 優れた軽元素検出能力 - Be検出
  • 電子顕微鏡搭載した状態での優れたエネルギー分解能
  • 物理的なジオメトリ共通 - 検出器のアップグレードが容易

センサーサイズの大型化により:

  • 低照射電流条件下でも実用的なカウントレート取得
  • 優れたX線イメージングと精度によるサブミクロン粒子とナノ粒子の検出
  • 同じ照射電流条件下でも得られるより高いカウントレート
  • 分析時間の短縮と統計的な信頼度の向上
  • より細い電子線プローブでの分析 - 空間分解能の向上

X-MaxNほどのパフォーマンスを特に必要とされない場合には、x-actもお選びいただけます。 10mm2SDDのx-act検出器は低~高カウントレート条件下で優れたパフォーマンスを示します。

マルチ検出器システム

自動プロセスコントロールには、2つ以上の検出器を搭載してスループットを向上させることもできます。

例えば非常に小さな粒子や、ポリカーボネートフィルタのような電子線照射に弱い試料など、難しい分析なども不可能ではありません。このようば場合にはマルチ検出器システムが効果的に粒子検出を高速化します。様々なサイズの粒子が混在している場合など、単一の検出器では小型粒子が大型粒子の影になってしまうという問題が発生します。2つ以上の検出器を向かい合わせに搭載することにより、このような影の問題を解消させることができます。

  • 最大4つまでのX-MaxN検出器を一台の検出器に搭載すれば、合計600 mm2の有効面積を得ることができます。
  • マルチ検出器により:
    • 高い立体角が必要とされるナノスケール粒子の分析を低加速電圧で行なうことができます
    • 電子線照射に弱い下地の上の粒子を分析できます(例:フィルター、樹脂など)
    • 様々なサイズの粒子が混在する場合でも、小さな粒子を影にならず分析できます(ページ上の画像をご参照ください)

マルチ検出器システムは試料のスループットを向上させるだけでなく、試料が陰になってしまう問題も軽減させることができます。