オックスフォード・インストゥルメンツの3次元EDS分析システムです。このパワフルな3D EDSソリューションは、FIB-SEMシステムとシンクロするEDS分析ソフトウェアとの組み合わせにより実現します。

Overview

  • FIBミリング処理後に、自動でEDS X線マッピングデータを各スライスで収集します。
  • X-MaxN 大面積SDD検出器で高速にデータを収集します。
  • 全スライスで完全なSmartMap Datacube収集します。
  • 信頼性の高い試料ドリフト補正ソフトウェアが内蔵されています。

3D EDS Features

Collect EDS data in more dimensions
 

INCASmartMap3Dは、最もパワフルな多次元分析ソリューションで、FIB-SEMで動作するスライス間の元素データ収集・観察が可能です。

  • Combine 3D spatial information with the 3D EDS datacube
    • Even though the sample is lost during milling, by acquiring EDS data with SmartMap3D, none of the X-ray information is lost. This means total data storage and security.
  • Use the powerful data processing tools in INCAEnergy to:
    • 全てのスライスで全元素マッピング
    • 詳細な解析のために、任意のスライスの任意のエリアからスペクトルを再構築
    • Cameo+を使用して、単一イメージで化学的情報を表示
    • QuantMap機能を使用して、定量マップデータ処理によるピークオーバーラップの解消
    • 3Dソフトウェアパッケージでの標準フォーマットで全スライスデータの一括出力