EDSはSEM,TEMそしてFIB装置内の試料を元素分析、また化学的に分析する方法です。 オックスフォード・インストゥルメンツは、革新的な材料解析システムであるAZtecを提供し、ミクロレベルやナノスケールにおける高信頼性データ解析を実現板いたします。

  • AZtecEnergy 分析ソフトウェア、並びにSEM, FIB内分析用SDD検出器のラインナップ
  • AZtecTEM ソフトウェア、並びにTEM分析用の標準またはウィンドウレスX-MaxN SDD検出器
  • GunShot Residue (GSR)分析、薄膜分析、ミネラル分析などのアプリケーションに特化した分析ソリューション