AZtecとNordlysNanoシステムは、拡大するナノスケールアプリケーションに対処します: EBSPは最高の感度、低い光学収差、最高の分解能で画像収集されます。

  • 低kV・低ビーム電流条件でもリアルタイムでデータ収集・解析
  • 高速でも高い感度 – データ収集に必要とされる時間とビーム電流を最小に

NordlysNanoは、高分解能EBSD解析に最適化されています。

  • ナノスケール材料での高空間分解能EBSD分析のため、低kVでのデータ収集に最適化されています。
  • 100pAレベルの低ビーム電流での動作に効果的で、以下のアプリケーションに最適です。
    • 高空間分解能のタングステンまたはLaB6 SEM
    • Cold FE SEM
    • 低プローブ電流のThermal FE SEM

NordlysNanoは、高パターン分解能EBSDに最適化されています。


NordlysNanoは、最高分解能分析時には、EBSPのデジタイズに1344 x 1024 CCDアレイを使用します。高分解能パターンの収集は、特定のアプリケーションに対して重要です。:

  • 指数付けが難しい材料や低い対称性の材料に対して、高いピクセル分解能は相の同定の助けとなります。
  • Required for cross-correlation techniques, for example, elastic strain analysis
  • Correct measure of orientation in pseudo-symmetric materials with c/a ratios as low as 2%