NordlysNano EBSD 検出器は、高い空間分解能と角度分解能とともに、スループットを向上します。EBSPは最高の感度と低い光学収差、最高の感度で画像収集され、拡大するナノスケールアプリケーションの要求に対処します。

 
Overview

  • 微小結晶構造パターンをもつ材料の解析
  • EBSPをデジタイズする高分解能1344 x 1024 CCDアレイを搭載
  • 0.5nAの低プローブ電流でデータ収集可能な設計

NordlysNano Features

AZtecとNordlysNanoシステムは、拡大するナノスケールアプリケーションに対処します: EBSPは最高の感度、低い光学収差、最高の分解能で画像収集されます。

  • 低kV・低ビーム電流条件でもリアルタイムでデータ収集・解析
  • 高速でも高い感度 – データ収集に必要とされる時間とビーム電流を最小に

NordlysNanoは、高分解能EBSD解析に最適化されています。

  • ナノスケール材料での高空間分解能EBSD分析のため、低kVでのデータ収集に最適化されています。
  • 100pAレベルの低ビーム電流での動作に効果的で、以下のアプリケーションに最適です。
    • 高空間分解能のタングステンまたはLaB6 SEM
    • Cold FE SEM
    • 低プローブ電流のThermal FE SEM

NordlysNanoは、高パターン分解能EBSDに最適化されています。


NordlysNanoは、最高分解能分析時には、EBSPのデジタイズに1344 x 1024 CCDアレイを使用します。高分解能パターンの収集は、特定のアプリケーションに対して重要です。:

  • 指数付けが難しい材料や低い対称性の材料に対して、高いピクセル分解能は相の同定の助けとなります。
  • Required for cross-correlation techniques, for example, elastic strain analysis
  • Correct measure of orientation in pseudo-symmetric materials with c/a ratios as low as 2%

 

Nordlys Detector Overview

Nordlys検出器は全てのアプリケーションに、世界最先端のEBSD性能をお届けします。

 

These are the features common to both:

 

最適化された光学設計

パターンエッジで検出されたキクチバンドは、正しい相認識のキーとなります。これまで使われてきた円形のフォスファースクリーンは、大きすぎ(下図のオレンジ円)でもあり小さすぎ(下図の白円)ます。

  • 矩形のフォスファースクリーンはCCDを最も有効に使います。
  • 低い結晶対称性をもつ難しい材料に最適です。

 

EDS・EBSD同時測定のために設計を最適化しています

検出器先端をテーパー加工することで検出器同士を接近させ、より詳細な分析を可能にします。:

  • 両検出器への信号を最大化します。
  • ワーキングディスタンスをより短くします。

Outstanding sensitivity


Nordlys 検出器は、全ての加速電圧、ビーム電流のレンジをカバーするように設計されています。:

  • 低kV・低ビーム電流でオペレーション可能で、空間分解能を最良に
  • 低ビームエネルギーで、ビームに敏感なサンプルでも分析可能
  • 0.1°以下の高い角度分解能

Orientation contrast imaging

最大6つの前方散乱検出器 (FSD) をフォスファースクリーンは周辺に搭載可能で、それらは独立してコントロールされます。

  • 前方散乱検出器はAZtecのユーザーインターフェイスからコントロールします。
  • AZtecは、方位または原子番号コントラストイメージの自動最適化ルーチンを内蔵しています。
  • このソリューションは、イメージ収集のカスタマイズをフレキシブルかつ多様にします。

 

関連するプロダクト

img-EBSD-thumb1-278

EBSD分析ソフトウェア AZtecHKL

AZtecHKL EBSD分析ソフトウェアは、SEMやFIB内で動作する結晶方位解析システムで、微細構造評価のための非常に強力なツールです。

278_CH5

EBSD Post-processing Software

EBSDデータ処理ソフトウェア:方位マッピング、極点図、逆極点図、ODFとMODF計算、相の作成等を実行します。

EBSD2

AZtecSynergy

AZtecSynergyはリアルタイムでのEBSD-EDS同時データ収集・解析を可能にします。