最もパワフルかつフレキシブルなEBSD分析システム AZtecHKLは、データ収集手法を一変します。初心者からエキスパートまで、信頼性のあるデータが得られ、全ての結果が驚くほどの高精細で、これまでよりも速く解析することができます。


AZtecHKLは複雑なEBSDを解明し、測定機器の使用ではなく結果に集中することができます。

AZtecHKL at a glance

  • データ収集と解析を行うEBSDソフトウェア
    - 全てをリアルタイムで
  • 最新のEBSD検出器の能力を完全に引き出します。 NordlysMax2 (高速解析に最適) と NordlysNano (高感度解析に最適)
  • EDSデータを同時収集, AZtecSynergy
  • 最新のマルチタスクソフトウェアをベースとし、データ集、解析、レポートの印刷を同時に実行可能です。
  • 最大4000ピクセルの画像
  • 様々なユーザーに対応するデザイン
    - 初心者向けにもエキスパート向けにもユーザーインターフェースを合わせることができます。

 

AZtecHKL Overview

AZtecHKL - もっともパワフルかつフレキシブルなEBSD分析システム

 

 

Accurate

  • パワフルな新しいAZtec Tru-I解析エンジンは、"独創的な”結果をリアルタイムで提供します。

Fast

  • インテリジェントな最適化プロセスで、どのようにデータを収集するかではなく、結果の考察に集中できます。

Integrated

Innovative

  • AutoLockはEBSDとEDSの同時データ収集のための、予測型と反応型のドリフト補正機能です。

Flexibile

  • 自動処理機能とマニュアル設定機能を内蔵し、お好きな方法で分析を行うことができます。

Tru-I 指数付けエンジン

AZtec Tru-I指数付けエンジンは、高品質パターンを収集し、正確で信頼性のある解析を自動で実行します。 パターン収集と解析はリアルタイムで実行されます。

In this section:

 

正確なEBSDデータを得るために必須の高品質パターンを収集します。
 

  • AZtecは最良パターンの高速や高ビニングで収集するためにシステムが設計されています。
    • 信号強度とノイズは定量化され、パターンクオリティの評価に使用されます。

ダイナミックバックグラウンド補正はパターン毎のコントラスト最適化を可能にします。

  • 全ての材料から最高品質のパターンが 得られます。
    •  全く異なる原子番号からなる相をもつ、複数の相材料を含みます。
  • ダイナミックバックグラウンド補正はスクリーン欠陥を自動でマスクします。

インテリジェントバンド検出


AZtecは検出されたバンドのどれを指数付けに使うべきかを決定するインテリジェントなバンド検出ルーチンを実行します。

  • インテリジェントなバンド検出は、分析領域のバンドの平均強度と位置の両方を使用します。
  • 正しい指数付けポイントの割合、特に不明瞭なバンドを表す材料、またはパターンクオリティの低い材料指数付けを改善します。

 

クラス指数付け

EBSD指数付けルーチンでは、正確な結果を得ることが必須です。 - AZtecには新しい方法としてクラス指数付けがあります。

  • この方法は正確で、たとえ1つ以上の検出バンドがリファレンスリフレクタリストに含まれていなくても、 正しい解析が行われます。
  • システムはオペレータが選択したバンド数とリフレクタに影響を受けにくくなっています。

類似した結晶構造の認識


AZtecはバンド幅の比較から類似した結晶構造の相を正しく認識します。

高精度リファインアルゴリズム
 

革新的な「高精度リファインアルゴリズム」は、これまでのEBSD分析能力を伸ばし、最も信頼性の高い結果を提供いたします。

  • 指数付けの後でキクチバンドの位置をリファインし、最も高信頼性の高い方位測定を行います。
  • ハフ変換を改善。
  • 下図のNiパターンは最適化の例を表しています。
    • パターンAはハフ変換ベースのバンド検出を示しています。
    • パターンBは新方式によるリファイン後のバンドポジションを示しています。

* patent pending

AZtecのリファイン信頼性は…

  • クラス最高のリアルタイム方位測定信頼性。
    • バウンダリ識別を強化
    • 微小なサブグレイン構造の認識
    • 収集パターンとソリューションのフィットを改善

 

Intelligent EBSD Acquisition Tools

AZtecHKLはたくさんのインテリジェントなEBSD収集ツールを内蔵し、データ収集を早く、簡単に、より良くします。

 

このセクションのトピック

 

AutoCal
クリックするだけで収集条件を変更しても、高品質なEBSDパターン品質を収集します。
 

  • 様々なワーキングディスタンスと検出器挿入距離で、キャリブレーションなしに定期的にデータ収集します。
  • AutoCalはシームレスに自動で計算を行う、洗練された幾何学的補正です。
  • 低倍率におけるビームの移動に伴って生じる投影パラメータの変化を補正します。
  • どんな方でも、簡単・迅速に設定できます。

AZtecHKLは収集条件の変化を自動でリアルタイムに補正します。

データ収集のためのシステム最適化は、これまでのどのシステムよりも簡単で自動化されています。

  • 自動化された検出器露光時間
  • インテリジェントなダイナミックバックグラウンド
  • ユーザーインターフェイスから検出器制御
  • SEM条件(kV、プローブ電流、倍率、ステージ傾斜)の変化に対して再キャリブレーショの必要なく、正しく解析されるよう最適化されたEBSPを収集します。

AutoLock
 

  • AZtecAutoLockはEBSDとEDSデータを同時に補正する、内蔵されたドリフト補正機能で、最も正確なマップを提供します。
  • 予測型と反応型のドリフト補正ルーチンを組み合わせた特長ある機能
  • 突発的な試料移動にも対応
  • 高倍率のナノスケールEBSDに必須

Image Registration

全AZtec収集画像を試料ナビゲーションと再配置に使用可能です。- 異なる電子顕微鏡でも

  • AZtecは電子顕微鏡のステージをコントロールし、分析点に再移動できます。
  • 収集した画像やマップは自動で 登録され、以前の分析領域に 簡単に再移動できます。
  • 各種画像でもナビゲーションに使用できます。 例. EBSDマップを分析領域へナビゲート
  • 手動で画像を登録して、試料の特定の領域を、 後日または別の電子顕微鏡でさらに分析できる ようになります。

 

Orientation Imaging - 方位イメージ

試料の方位イメージングはさらに調査すべき分析領域をハイライトします。 Nordlys EBSD検出器とAZtecの組み合わせは、全てのEBSD アプリケーションに対応する強力なソリューションです。

 

Nordlys検出器は最大6つの前方散乱検出器ダイオードを搭載可能です。

  • AZtecは各FSD検出器から個別にイメージを収集可能です。
  • カスタマイズや複数イメージをミックスする自由度があります。

EBSD Re-analysis - 再解析機能

設定を最適化し再解析するために、データの再収集は必要ありません。AZtecHKLにより、収集直後でもオフラインでもデータ処理が可能です。



AZtecHKLの再解析機能は、柔軟性のある自由な機能です:

  • ソルバー設定の最適化や相の追加、そしてデータのオフライン再解析
  • データ収集前に試料に含まれる全ての相を知っておく必要はありません。

EBSDとEDSの同時分析 - AZtecSynergy

AZtecSynergyは革新的で強力なAZtecEnergyとAZtecHKLを結び付け、EBSDとEDSを同時に解析する究極の材料評価システムとなります。 

機能性や生産性に一切の妥協なく、EDSとEBSDは一つのインターフェースに統合されています。
 

  • 最大毎秒870ポイントでEDSとEBSDのデータを同時に観察できます。(NordlysMax2)
  • 一つのウィンドウから両方の検出器を観察し、収集パラメータを最適化できます。
  • EBSDとEDSのデータセットを収集すれば、保存されたパターンとスペクトルから未知の相を同定できます。

Phase ID
正確に相を同定するために、EDSスペクトルとEBSDパターンを各ポイントから同時に収集します。

 

  • 強力で迅速な相検索で、組成情報を元に候補の相を同定します。
  • Tru-Iアルゴリズムを使い、候補の相リストから正確に相を決定します。
  • リファレンスイメージとともにスペクトルとEBSDパターンを保存します。

 

Large Area Mapping - 広域マッピング

AZtecLAMは、試料の大面積分析領域から高分解能データ(画像とEDS/EBSD同時収集マップ)の自動収集を可能にします。

  • ガイド画面で簡単に設定でき、どんなお客様でも大面積マッピング機能をお使いいただけます。
  • 傾斜したEBSDジオメトリ用に設計され、データ収集中にフォーカスが調整されます。
  • 画像はデータ収集中に自動で整列され、画像の結合後でもシームレスな大面積マップデータを生成します。
  • 最大1500視野で8kのSEM像解像度と4kのEBSDマップ解像度で収集し、それぞれ9600万ピクセルの画像データと2400万ピクセルのEBSDデータセットが生成されます。
  • LAMはインタラクティブな機能で、データ収集中でも結合データの確認や詳細部分の拡大が可能です。
  • ひとつの結合データセット(最大6400万ポイント)が単一領域のAZtec標準分析領域として解析できます。
    • X線マップ、EDSレイヤーマップ、相マップ、スペクトル
    • IPFマップ、オイラー角マップ、相マップ、EBSDパタ ーン

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