非破壊検査

  • 多層膜の組成と膜厚は、試料表面のEDS測定から計算されます。-断面試料の準備は不要です。

高い空間分解能

  • LayerProbeは高分解能かつ非破壊検査のただ一つのツールです。-200nm幅の粒子まで高信頼性評価が可能です。

高信頼性

  • ナノメーターオーダーの膜厚が素早く高い信頼性で測定可能です。

Cost effective

  • LayerProbeは、ご使用中のSEMを高性能の薄膜、コーティング解析装置へと変えます。同等の非破壊検査技術は、専用装置の追加投資が必要です。

金属層に最適

  • X線ベースの技術で、光学的に透過性のある膜厚以上の膜厚でも金属層の膜厚を測定できます。
  • 最高の低エネルギー感度を持つ最新のSDD検出器X-MaxNは膜厚1nmまでの金属上酸化物層を測定可能にします。