電子顕微鏡/電子ビーム顕微鏡用 エネルギー分散型X線分析装置 (EDS)、波長分散型X線分析装置 (WDS)、電子線後方散乱回折分析装置 (EBSD)です。

  • EDSは成分や化学的濃度を分析します。
  • WDSはより高い分解能と安定性を有しています。
  • EBSDはSEM/FIBを使った微細構造解析を提供します。
  • アプリケーションに特化したモジュールも提供しており、それらは発砲残渣分析や鉱物解析といった処理を効率的に行うためのソフトウェアや、多層膜の解析や膜厚測定等の付加分析するソフトウェアを提供しています。