nano micro biz / ROBOTECH2014出展のお知らせ
2014年4月1日

Release date: 2014年4月1日


nano micro biz / ROBOTECH2014出展のお知らせ
 
4月23日~25日に開催されるnano micro biz / ROBOTECH2014で、プラズマ テクノロジーに関するプロダクトのスペシャリストが、皆様をお待ちしています。技術的な質問等ありましたら遠慮なく是非ご質問ください。
◆展示会名:ナノ・マイクロ ビジネス展 / ROBOTECH
◆日付:2014年4月23日(水)~25日(金)
◆場所:パシフィコ横浜 展示ホール
◆ブース番号: T-2
※展示会詳細は下記からご確認ください。
http://www.micromachine.jp/


オックスフォード・インストウルメンツの汎用性が高く、高パフォーマンスの装置はディープSiエッチング・クライオエッチング、そしてボッシュプロセスやALDプロセス(原子層堆積)の技術を駆使して、MEMS革命を促進するよう設計されています。

製品に関する詳細は下記のURLからご確認ください。(日本語)
http://www.oxford-instruments.jp/products/plasma-ald-ion-beam/tools/plasma-etch-deposition-systems/plasmapro-estrelas100-deep-silicon-etch-system

詳細は下記の映像からご確認ください。(英語)
http://www.oxford-instruments.com/businesses/nanotechnology/plasma-technology/campaigns/video-mems-applications-and-systems

さらに詳しい情報については下記までお問い合わせください。

布川 雅子
マーケティング・コミュニケーションズ・マネージャー
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
〒140-0002 東京都品川区東品川 3-32-42 ISビル
Tel: +81 (0) 3 6732 8961
Fax: +81 (0) 3 6732 8937
Email: masako.nunokawa@oxinst.com

オックスフォード・インストゥルメンツ社について

オックスフォード・インストゥルメンツ社は、研究及び産業用アプリケーションに焦点を当てたハイテクツールやシステムを設計、供給、サポートしています。当社の製品は、高度な技術が必要な基礎物理の研究分野にソリューションを提供し、ナノテクノロジーにおける商用アプリケーションへの橋渡しに貢献しています。当社は、50年以上にわたりイノベーションを続け、成長と成功を得てきました。タイムリーかつ、顧客の要望を捉えた製品を、市場に投入することによって、これらのアイデアをうまく商用化するという成果をもたらしています。

元々、50年以上前にオックスフォード大学の研究所から端を発したベンチャー企業である、オックスフォード・インストゥルメンツ社は、世界中に2000人以上のスタッフを抱えるグローバル企業になり、FTSE250 INDEXとしてロンドン証券取引所(OXIG)に上場しており、研究及び産業分野のための新世代ツールとシステムのリーディングプロバイダーです。

当社は、低温、高磁場、超高真空環境、核磁気共鳴、X線、電子・光学計測、さらには先進的な膜成長・成膜及びエッチングプロセスなどの分野でコア技術を結集させています。

オックスフォード・インストゥルメンツ社は、科学技術を通じて、責任ある開発と本質を追求することを目指しています。当社の専門知識を有した製品とアイデアは、エネルギー、環境、セキュリティ、健康など地球規模の問題の取り組みに使われています。

オックスフォード・インストゥルメンツ社 プラズマテクノロジーについて

オックスフォード・インストゥルメンツ社 プラズマテクノロジーは、柔軟に設定可能なプロセス装置、精密な先端プロセスとマイクロ及びナノ構造プロセスを制御性と再現性を兼ね備えて提供できます。当社のシステムは、ナノメーターサイズのエッチング、ナノレイヤーデポジション、ナノ構造の成長制御におけるプロセスソリューションを提供しています。

これらのソリューションは、プラズマエンハンスドデポジション/エッチング、イオンビームデポジション/エッチング、原子層堆積法、ディープシリコンエッチング、物理気相成長法(PVD)などのコアテクノロジーに基づいています。製品ラインは、研究開発用のスタンドアローンシステムから、バッチツール、高スループット生産プロセス用のクラスター型カセットtoカセットのプラットフォームまで用意しております。

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