枚葉処理エッチング技術の進化- the new PlasmaPro®100 Sapphire
2013年6月26日

プラズマ真空処理装置のリーディングカンパニーであるオックスフォード・インストゥルメンツ プラズマテクノロジーは、PlasmaPro100 Sapphireは、最新の枚葉処理エッチング技術を提供いたします。
照明技術革命を可能にするために設計された、オックスフォード・インストゥルメンツ PlasmaPro100 Sapphireは、エッチングの豊富な経験をもとに、この新しいシステムをすべてのHBLED素材に適用することで、保有コストの最小化と歩留まりの最大化を可能にします。

PlasmaPro100 Sapphire枚葉処理エッチングシステムは、急速に拡大する関連マーケットにメーカーの競争力維持に必要なエッチング結果を生成するためのスマートソリューションを提供します。

オックスフォード・インストゥルメンツ プロダクションビジネスグループ ディレクター 、Michelle Bourke氏は、以下のようにコメントしています。「PlasmaPro100 Sapphireは、最大直径200mmのウエハー上に均一高速エッチングレートを実現し、HBLED素材に必要な過酷な化学反応に耐えうるよう特別に設計されています。オックスフォード・インストゥルメンツでは、お客様のための最も革新的な、費用対効果と信頼性の高いプロセスソリューションを提供するよう努めています。この最新のシステムはこれらの要件のすべてを網羅するように設計されています。」

主なシステム機能と利点は次のとおりです:
サファイアを固定できる静電クランプ技術、サファイアとシリコン上のGaN;高密度プラズマを生成する高出力ICP源;強化されたイオン制御用磁性スペーサ;低圧で最大のガススループットを提供する高コンダクタンスポンプシステム
上記のものはすべて、信頼性、稼働時間と保守のしやすさを念頭に開発されています。

LED照明は、照明業界に革命を起こす可能性を秘めています。LEDは、伝統的にディスプレイに使用されてきましたが、消費者にエネルギー効率の高いLEDへの切り替えを促す各国政府の法制化という世界的な動きを受け、家庭用照明用途に提供するために進化しています。

オックスフォード・インストゥルメンツの企業としての使命は、世界クラスの製品に、スマートテクノロジーへの切り換えによる技術革新を行い、高度技術を通じて、お客様のニーズを満たすことです。

この最新の製品イノベーションである PlasmaPro100 Sapphireの技術は、この照明革命を支援し、世界中で必要とされる、より効率的で、より低コストの照明を提供するためのツールであることをお客様にお約束します。

以上

オックスフォード・インストゥルメンツ プラズマテクノロジー

さらに詳しい情報については下記までお問い合わせください。

布川 雅子
マーケティング・コミュニケーションズ・スペシャリスト
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
〒135-0047 東京都江東区富岡2-11-6 長谷萬ビル3F
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オックスフォード・インストゥルメンツ プラズマテクノロジーについて

オックスフォード・インストゥルメンツ社のプラズマテクノロジーは、設定変更可能なプロセスツール、正確な最先端プロセス、マイクロおよびナノ構造の制御可能再現工学の適応力を提供しています。当社のシステムは、ナノメーターサイズの特長、ナノレイヤーデポジション、ナノ構造の成長制御におけるエッチングのプロセスソリューションを提供しています。

これらのソリューションは、プラズマ増強デポジションおよびエッチング、イオンビームデポジションおよびエッチング、原子層蒸着、ディープシリコンエッチング、物理気相蒸着などのコアテクノロジーに基づいています。製品ラインは、研究開発用のスタンドアローンシステムから、バッチツール、高スループット生成プロセス用のカセット型プラットフォームまで用意しております。
オックスフォード・インストゥルメンツ社は、研究および産業用アプリケーションに焦点を当てたハイテクツールやシステムを設計、供給、サポートしています。当社の製品は、高度化が必要とされる基礎物理の研究にソリューションを提供し、ナノテクノロジーにおける商用アプリケーションに用いられています。当社は、50年以上にわたり、このイノベーションにより成長と成功を得てきました。タイムリーかつ顧客に焦点を当て、市場に製品を投入することによって、これらのアイデアをうまく商用化するという成果をもたらしています。

最初のテクノロジー事業は50年以上前にオックスフォード大学からスピンアウトしたものであり、オックスフォード・インストゥルメンツ社は、世界中に1900人以上のスタッフを抱えるグローバル企業になり、FTSE250指数としてロンドン証券取引所(OXIG)に上場している、研究および産業分野のための新世代ツールとシステムのリーディングプロバイダーです。
当社は、低温、高磁場、超高真空環境、核磁気および電磁気共鳴、X線、電子および光学ベースの計測、さらには先進の成長、成膜およびエッチングプロセスなどの分野でコア技術を結集させています。
オックスフォード・インストゥルメンツ社は、科学技術を通じて、責任ある開発と本質を追求することを目指しています。当社の専門知識を有した製品とアイデアは、エネルギー、環境、セキュリティ、健康など地球規模の問題の取り組みに使われています。
 

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