高輝度LED量産向けにオックスフォード・インストゥルメンツ社の最新装置でバッチ生産を最大化!!
2013年7月22日

オックスフォード・インストゥルメンツ社プラズマテクノロジーは、バッチ式エッチング装置の新製品を発表しました。新製品PlasmaPro1000 Astreaエッチング・システムはPSS加工やGaN及びAlGaInPの大型バッチ・エッチング、高輝度LEDメーカーに業界をリードする所有コストとともに、高いスループットを提供します。本年3月上海で開催されたLED China Exhibitionで、当社のプロダクトマネージャーであるDr. Mark Dineenがこの新製品の発売開始を発表しました。

オックスフォード・インストゥルメンツ社プラズマテクノロジーの高輝度LEDプロセス製品担当プロダクトマネージャーのDr. Mark Dineenは、今回の新製品発表に際して次のように述べています。
「PlasmaPro1000 Astreaは究極のバッチ式エッチング装置で、高輝度LED分野での主要な装置メーカーとして15年以上の経験が生かされています。当社のPlasmaPro1000 Astreaバッチ式エッチング装置は、今日の高輝度LEDメーカーの要求事項である高歩留り、高スループット、最適なデバイス品質及び低い所有コスト、これらすべてのソリューションを提供します。」
バッチサイズは2インチで55枚、8インチで3枚となっており、高輝度LED材料に必要とされる厳しい化学作用を考慮して特別に設計されています。PlasmaPro1000 Astreaはお客様のデバイスから最大限の性能を確保するため、高歩留りと低ダメージをお届けします。

当該新製品は柔軟に設計されており、スタンド・アローン型としてもクラスター型としても利用でき、クラスター化する場合は3チャンバーまで増設可能です。

システムの利便性とメンテナンス性を確保するために設計され、主要な機能と特徴は次のとおりです。

  • 業界をリードする高均一性プラズマ690mm大面積プラズマ源
  • 490mm下部電極で2インチ55枚、4インチ14枚、6インチ7枚、8インチ3枚のバッチサイズで他に類のないスループットを実現
  • 高排気ポンピングシステム
  • プロセスチューニングの容易性を考慮した二重ガス注入口
  • 基板冷却に最大化されたクランピング
  • 究極の均一性を確保すためにZ軸可動電極
  • 稼働時間確保のための信頼性あるハードウェアとメンテナンス性

オックスフォード・インストゥルメンツ社プラズマテクノロジーのマネージング・ディレクターであるDan Ayresのコメントとして、「この先進的で革新的なシステムは高輝度LEDメーカーの厳格なニーズに対応するために開発されました。デバイスメーカーであるお客様は、最新の技術革新だけでなく、当社による優れたカスタマーサポートを求めています。
プラズマによるエッチング及びデポジションシステムの主要な装置メーカーとして、オックスフォード・インストゥルメンツ社は究極のプロセス装置を提供するために、絶えず改善に努め発展させていきます。当社固有の6,000以上のプロセス・ライブラリーと、25年以上もの主要な真空プラズマ装置メーカーとしての経験で、当社のお客様は総合的にそして市場を牽引する背景を基に、優れた製品に満足されることと思います。」

以上

さらに詳しい情報については下記までお問い合わせください。

布川 雅子

マーケティング・コミュニケーションズ・スペシャリスト
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
〒135-0047 東京都江東区富岡2-11-6 長谷萬ビル3F
Tel: +81 (0) 3 5245 3251
Fax: +81 (0) 3 5245 4472
Email: masako.nunokawa@oxinst.com

オックスフォード・インストゥルメンツ社について

オックスフォード・インストゥルメンツ社は、研究及び産業用アプリケーションに焦点を当てたハイテクツールやシステムを設計、供給、サポートしています。当社の製品は、高度な技術が必要な基礎物理の研究分野にソリューションを提供し、ナノテクノロジーにおける商用アプリケーションへの橋渡しに貢献しています。当社は、50年以上にわたりイノベーションを続け、成長と成功を得てきました。タイムリーかつ、顧客の要望を捉えた製品を、市場に投入することによって、これらのアイデアをうまく商用化するという成果をもたらしています。

元々、50年以上前にオックスフォード大学の研究所から端を発したベンチャー企業である、オックスフォード・インストゥルメンツ社は、世界中に2000人以上のスタッフを抱えるグローバル企業になり、FTSE250 INDEXとしてロンドン証券取引所(OXIG)に上場しており、研究及び産業分野のための新世代ツールとシステムのリーディングプロバイダーです。

当社は、低温、高磁場、超高真空環境、核磁気共鳴、X線、電子・光学計測、さらには先進的な膜成長・成膜及びエッチングプロセスなどの分野でコア技術を結集させています。

オックスフォード・インストゥルメンツ社は、科学技術を通じて、責任ある開発と本質を追求することを目指しています。当社の専門知識を有した製品とアイデアは、エネルギー、環境、セキュリティ、健康など地球規模の問題の取り組みに使われています。

オックスフォード・インストゥルメンツ社 プラズマテクノロジーについて

オックスフォード・インストゥルメンツ社 プラズマテクノロジーは、柔軟に設定可能なプロセス装置、精密な先端プロセスとマイクロ及びナノ構造プロセスを制御性と再現性を兼ね備えて提供できます。当社のシステムは、ナノメーターサイズのエッチング、ナノレイヤーデポジション、ナノ構造の成長制御におけるプロセスソリューションを提供しています。

これらのソリューションは、プラズマエンハンスドデポジション/エッチング、イオンビームデポジション/エッチング、原子層堆積法、ディープシリコンエッチング、物理気相成長法(PVD)などのコアテクノロジーに基づいています。製品ラインは、研究開発用のスタンドアローンシステムから、バッチツール、高スループット生産プロセス用のクラスター型カセットtoカセットのプラットフォームまで用意しております。

 

高輝度LED量産向けにオックスフォード・インストゥルメンツ社の最新装置でバッチ生産を最大化!!