私たちは、世界的な照明業界に大きな変化を可能にする、HBLEDの製造に重要な役割を果たしています。

当社のシステムは、市場をリードするデバイス性能を提供し、所有コストを引き下げる多くの大手HBLEDメーカーによって使用されます 。

例えば、他の発光技術の製造にも使用されているOLEDは、フルスケール生産にR&Dからプロセス·ソリューションを提供しています。

HBLEDは様々な場所で使用されています。

  • 看板
  • 建築照明
  • 画像投影
  • 自動車
  • 家庭用照明
技術は、発光(発光ダイオード)または非発光(電気泳動)のどちらかです。

 

このアプリケーションのプロダクト

原子層堆積装置 (ALD)

原子層堆積装置 (ALD)

Atomic layer deposition (ALD) Oxford Instruments' ALD systems include the FlexAL and the OpAL.

AlGaN/GaN Etching

AlGaN/GaN Etching

AlGaN/GaN may be dry etched with either photoresist or hard mask using RIE ICP or Etching

大規模バッチプラズマシステム - PlasmaPro NGP1000

大規模バッチプラズマシステム - PlasmaPro NGP1000

Batch production solutions for the HBLED market

エッチング&デポジションシステム - PlasmaPro 800Plus

エッチング&デポジションシステム - PlasmaPro 800Plus

Large capacity open-loading process solutions for plasma etch and deposition

PECVD装置

PECVD装置

PECVD装置

エッチング&デポジションツール - PlasmaPro NGP80

エッチング&デポジションツール - PlasmaPro NGP80

Compact open-loading tool for plasma etch and deposition