Nanomicro Biz Robotech ナノ・マイクロ ビジネス展

会場:
パシフィコ横浜, 日本
日付:
2014年4月23日 - 2014年4月25日
参加する事業部:
プラズマテクノロジー
Website:
www.micromachine.jp

4月23日~25日に開催されるnano micro biz / ROBOTECH2014で、プラズマ テクノロジーに関するプロダクトのスペシャリストが、皆様をお待ちしています。技術的な質問等ありましたら遠慮なく是非ご質問ください。
◆展示会名:ナノ・マイクロ ビジネス展 / ROBOTECH
◆日付:2014年4月23日(水)~25日(金)
◆場所:パシフィコ横浜 展示ホール
◆ブース番号: T-2
※展示会詳細は下記からご確認ください。
http://www.micromachine.jp/


オックスフォード・インストウルメンツの汎用性が高く、高パフォーマンスの装置はディープSiエッチング・クライオエッチング、そしてボッシュプロセスやALDプロセス(原子層堆積)の技術を駆使して、MEMS革命を促進するよう設計されています。

製品に関する詳細は下記のURLからご確認ください。(日本語)
http://www.oxford-instruments.jp/products/plasma-ald-ion-beam/tools/plasma-etch-deposition-systems/plasmapro-estrelas100-deep-silicon-etch-system

詳細は下記の映像からご確認ください。(英語)
http://www.oxford-instruments.com/businesses/nanotechnology/plasma-technology/campaigns/video-mems-applications-and-systems