当社は、様々な構成が柔軟に設定可能なプロセスツールと共に、最先端のマイクロ構造やナノ構造において、正確で再現性のあるプロセスを提供しています。当社のシステムは、ナノメートルサイズ形状のエッチング、ナノレイヤーの成膜及び、ナノ構造に制御された成長プロセスソリューションを提供します。

これらのソリューションは、プラズマCVD及びエッチング、イオンビーム成膜及びエッチング、ALD、シリコン深堀エッチング及びPVDにおけるコア技術に基づいております。

当社製品は、研究開発用のコンパクトなスタンドアローンシステムから、バッチ式、カセット式クラスタープラットフォームまで、ハイスループットの生産処理に対応しています。

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オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
10:46 午後 - 26 3 18
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