オックスフォード・インストウルメンツ社 プラズマテクノロジーはバッチ式エッチング技術の進化をもたらします。高輝度LED関連材料におけるエッチングの豊富な経験によって、当社の技術はデバイスの性能を最大限引き出すために所有コストの削減と歩留まりアップを可能にします。

高輝度LED産業は、高いスループット、高品質なデバイスと低コストを求めています。
PlasmaPro1000 Astrea 大型バッチ・エッチングシステムは、これらすべてののソリューションを提供します。

高輝度LEDの製造/生産
高輝度LED材料に求められる過酷な化学的性質のために特別に設計されたPlasmaPro1000 Astreaは、大型ウエハー・バッチ全体で高速にしかも均一なエッチングを実現します。また当該システムは、稼動時間と保守メンテナンスのしやすさを考慮して開発されました。

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