当社は、様々な構成が柔軟に設定可能なプロセスツールと共に、最先端のマイクロ構造やナノ構造において、正確で再現性のあるプロセスを提供しています。当社のシステムは、ナノメートルサイズ形状のエッチング、ナノレイヤーの成膜及び、ナノ構造に制御された成長プロセスソリューションを提供します。

これらのソリューションは、プラズマCVD及びエッチング、イオンビーム成膜及びエッチング、ALD、シリコン深堀エッチング及びPVDにおけるコア技術に基づいております。

当社製品は、研究開発用のコンパクトなスタンドアローンシステムから、バッチ式、カセット式クラスタープラットフォームまで、ハイスループットの生産処理に対応しています。

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#顕微鏡学会 弊社のランチョンセミナー大盛況でした。 参加して下さった皆様ありがとうございました。 そして、弊社はより良い製品を皆様に届ける事が出来るよう日々研鑽してまいります。 pic.twitter.com/VKk1wf1Llz
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