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オックスフォード・インストゥルメンツ(株)装置機器事業本部半導体製造装置事業部超電導事業本部
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カソードルミネッセンス
(CL)

 
gatan
カソードルミネッセンスは、電子ビーム入射によりサンプルから発生した光で、そのスペクトルは可視、紫外、赤外部の発光部位を持ちます。 多くの非金属サンプルから発光が得られ、そしてバラエティに富んだ アプリケーションを導き出します。
CLで明らかになった情報は、多種の材料の研究に利用されております。すなわち、このCL分光学は材料物理学の研究において、たとえば、化合物半導体、最新の材料学、デバイス欠陥解析、地質解析などで 必要不可欠となっています。

CLは、材料の純度または不純物の存在などの調査で極めて高感度な分析が行えます。パンクロ像、モノクロ像、特定の純度、バンドパス等のCLイメージは分光学技術のツールとして重要で有ると同時に、 CL発光イメージを通して、特定の発光部位、欠陥の特性、不均質発光、偏析、フェーズ 等の情報を得ることが出来ます。

MonoCL3 PanaCL MiniCL
MonoCL3 PanaCL MiniCL
高効率でCLイメージ収集、分光が出来る  MonoCLSEM試料室に ダイレクト光学カップリングされたモノクロメータ 及びパンクロモードの分光イメージ   高倍率、高効率パンクロCLイメージが得られます 簡単操作でパンクロイメージが得られます

MonoCL TEM XiCLone
MonoCL TEM XiCLone
高加速電圧を使用し、従来のコンベンショナルTEM観察技術 に加えて、非常に高い空間分解能のCLが可能 MonoCL3システムにParaCLシステムとデジタルスキャンユニット、Digital Micrograph スペクトルイメージングの融合により誕生しました

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